Στον εξοπλισμό της βιομηχανίας ημιαγωγών, το γυαλί fused silica χρησιμοποιείται συχνά σε υψηλές θερμοκρασίες που κυμαίνονται από 1000℃ έως 1300℃. Υπό τέτοιες συνθήκες, συμβαίνει αποϋαλωματοποίηση λόγω της προσκόλλησης ακαθαρσιών. Τα αποϋαλωμένα μέρη είναι οι κρυσταλλωμένες περιοχές του fused silica και το σημείο μετασχηματισμού της κρυστάλλωσης είναι 275℃. Όταν το γυαλί fused silica ψύχεται από υψηλές θερμοκρασίες σε αυτή τη θερμοκρασία μετασχηματισμού, το κρυσταλλωμένο αποϋαλωμένο στρώμα στην επιφάνεια έχει διαφορετικό συντελεστή θερμικής διαστολής από την υψηλής θερμοκρασίας α-φάση και τη χαμηλής θερμοκρασίας β-φάση του ίδιου του γυαλιού fused silica. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα μια αδιαφανή, ξεφλουδισμένη εμφάνιση υπό ταχεία ψύξη. Σε πιο σοβαρές περιπτώσεις, μπορεί να συμβεί ράγισμα.
Για να παραταθεί η διάρκεια ζωής των προϊόντων fused silica, είναι ζωτικής σημασίας να αποτραπούν οι αιτίες της αποϋαλωματοποίησης. Οι κύριοι ρύποι που οδηγούν στην αποϋαλωματοποίηση περιλαμβάνουν αλκαλιμέταλλα, αλκαλικές γαίες, ιδρώτα, σάλιο, λεκέδες λαδιού, σκόνη κ.λπ. Ακόμη και ένα επίπεδο μόλυνσης 0,1mg/cm² μπορεί να προκαλέσει δεκαπλάσια ή και εκατονταπλάσια αύξηση της αποϋαλωματοποίησης. Επομένως, για να αποτραπεί η προσκόλληση αυτών των ρύπων στην επιφάνεια του fused silica, θα πρέπει να αποφεύγεται ο άμεσος χειρισμός με γυμνά χέρια. Επιπλέον, πρέπει να πραγματοποιείται σχολαστικός καθαρισμός πριν από τις λειτουργίες υψηλής θερμοκρασίας για να διασφαλιστεί η καθαριότητα της επιφάνειας του fused silica.
Ο γενικός καθαρισμός του fused silica ακολουθεί μια καθορισμένη διαδικασία: πρώτον, ξεπλύνετε την επιφάνεια με καθαρό νερό, στη συνέχεια βυθίστε την σε ένα λουτρό οξέος για καθορισμένο χρονικό διάστημα, αφαιρέστε την, ξεπλύνετε ξανά με καθαρό νερό και τέλος στεγνώστε την στον αέρα. Οι τύποι διαλυμάτων οξέος είναι οι εξής:
| Κατηγορία/Είδος | Συγκέντρωση | Χρόνος |
|---|---|---|
| Υδροφθορικό οξύ (HF) | 47,0% ~ 52,0% | 1 ~ 2 λεπτά |
| Υδροφθορικό οξύ (HF) | 5,0% ~ 10% | 10 ~ 15 λεπτά |
| Υδροφθορικό οξύ + Νιτρικό οξύ | 50% + 65% | 10 ~ 15 λεπτά |
| Υδροφθορικό οξύ + Θειικό οξύ | 50% + 65% | 10 ~ 15 λεπτά |